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至纯科技4月7日公告，2022年营收30.50亿元，同比增长432%，公司集成电路业务增长；归母净利润82亿元，同比增长0.24%；基本每股收益0.889元；拟每10股派发现金红利324元，并每10股派送红股2股（每股面值1元）。2022年，公司新增订单总额为419亿元，同比增长30.62%，其中半导体制程设备新增订单100亿元，同比增长60.71%。